以準分子為工作物質的一類氣體激光器件。常用相對論電子束或橫向快速脈沖放電來實現激勵。當受激態準分子的不穩定分子鍵斷裂而離解成基態原子時，受激態的能量以激光輻射的形式放出。
準分子激光器激光用于半導體處理，特別是半導體表面退火，是一種有希望的應用，潛在的市場是很大的。激光處理比常規熱處理的優點是能夠紡織退火期間參雜劑的再分布，同事保持適當的再結晶和參雜劑活化。準分子激光能對樣品均勻照射，而且準分子激光的光譜相當的寬，因而相干長度相當短，使得樣品中的干涉效應減到zui小，而在以往的激光退火中，這時難以解決的問題。準分子激光的紫外波長很適于退火樣品的薄層穿透，準分子激光還可以聚焦成微米級尺寸進行材料處理。
利用準分子激光的良好聚焦作用，通過激光引發光化反應，使表面出現微米量級的沉淀或蝕刻。例如，用波長為193毫微米的氟化氬準分子激光在樣品表面光解三氯化硼，已經實現了單晶硅和多晶硅的摻雜。此外，用脈寬為7豪微秒的準分子激光瞬間熔化表面，可使摻雜劑擴散到幾千埃的深度并使摻雜劑*活化。采用這種技術制造的太陽能電池，轉換效率約為13-14%。
準分子激光器在醫學領域使用：
在醫學領域中使用的激光器種類非常多,常用于眼科治療的主要有紅寶石激光、氬離子激光、氪離子、染料激光、摻釹釔鋁石榴石激光和氟化氬準分子激光等固體、氣體和液體的激光器，用連續的、脈沖的和調Q的方式，治療眼底部色素膜和屈光間質等部位的數十種有關眼部疾病。
眼科使用的準分子激光, 是以氬氣和氟氣為工作氣體產生的激光。所謂準分子激光，是指受激二聚體所產生的激光，波長范圍為157～353nm，所屬紫外激光波段。用于臨床的氟化氬混合物產生的波長為193nm的超紫外冷激光。
波長為193nm的ArF準分子激光，進行屈光手術的機理就是光化學效應。準分子激光單個光子的能量大約是6.4eV，而角膜組織中肽鍵與碳分子鍵的結合能量僅為3.6eV。當其高能量的光子照射到角膜，直接將組織內的分子鍵打斷，導致角膜組織碎裂而達到消融切割組織的目的，并且由于準分子激光脈寬短，又是光化學效應切除。因此，對切除周圍組織的機械損傷和熱損傷小。
用這種刀施行光切術,其切割精度可達到μm級,其刀口損傷范圍僅達nm級,而且由于無熱效應而不會損傷鄰近組織。所以現已運用于角膜手術，如角膜屈光手術、角膜疤痕去除等。
YAG激光器既可做平面切割,也可做斜角切割加工,且邊緣整齊、平滑,適用于金屬板、玻璃等高精度的切割加工。比起普通二氧化碳激光切割機更節省空間和氣體消耗量，光電轉化率高，是節能環保的新產品，也是世界上技術產品之一。
YAG激光器內部裝有氪燈和YAG晶體棒，分別套入通水管，通水后以水冷方式進行冷卻。腔體反射鍍金處理。由于輸入激光功率需要高聚效率和鍍金膜層高反射率，所以在特殊情況下需要定期對石英玻璃管和金屬腔體進行專業性的潔凈處理，以清除古典濾光管內外的水污垢和鍍金膜層的雜質或水份。
YAG激光器是利用受激輻射原理使光在某些受激發的物質中放大或振蕩發射的器件。產生激光的*的條件是粒子數反轉和增益大過損耗，所以裝置中*的組成部分有激勵源、具有亞穩態能級的工作介質兩個部分。激勵是工作介質吸收外來能量后激發到激發態，為實現并維持粒子數反轉創造條件。YAG激光器中常見的組成部分還有諧振腔，但諧振腔并非*的組成部分，諧振腔可使腔內的光子有一致的頻率、相位和運行方向，從而使激光具有良好的方向性和相干性。
光纖激光切割機具有高的電光轉換效率，其電光轉換效率達25％，比傳統激光切割機的電光轉換效率高出數倍，而綜合運行費用卻僅為傳統激光切割機的15％。同時，光纖激光切割機體積較小，其激光發生器的占地面積不到1平方米，整體占地面積約50平方米，為傳統激光切割機的三分之二。所以，在激光器的選擇上，要考慮到各種參數，以及自身的實際需要，只有這樣，才能讓激光器發揮出它的zui大效能。
相對于YAG激光器的優點：
1、光纖的可繞性所帶來的小型化、集約化優勢。
2、細長的光纖具有降低的體積面積比，散熱快、損耗低。
3、由于光纖激光器的諧振腔內無光學鏡片，具有免調節、免維護、高穩定性的優點，這是傳統YAG激光器*的。
4、光纖導出，使得激光器能輕易勝任各種多維任意空間加工應用，使機械系統的設計變得非常簡單。
5、勝任惡劣的工作環境，對灰塵、震蕩、沖擊、濕度、溫度具有很高的容忍度。
6、高的電光效率：綜合電光效率高達20%以上，大幅度節約工作時的耗電，節約運行成本。
