激光焦點(diǎn)分析儀在激光加工行業(yè)的應(yīng)用

伴隨紫外激光和超快激光普遍用于半導(dǎo)體、面板和生物醫(yī)學(xué)行業(yè)等行業(yè)，激光精細(xì)微加工和顯微分析測(cè)試已成為常用工具。由于加工區(qū)域需要控制在幾μm級(jí)別精度，只是測(cè)量激光功率或能量的強(qiáng)度和穩(wěn)定性已經(jīng)不能滿(mǎn)足常規(guī)的加工質(zhì)量管控要求，激光加工，尤其是紫外/超快微加工中，由于激光器輸出特性、光路的微小變化，導(dǎo)致焦斑的尺寸、位置變化，影響加工效果和一致性，因此在激光加工方面，我們需要對(duì)激光“看到”更多的細(xì)節(jié)，比如光斑大小、峰值中心位置、幾何中心位置、橢圓度、2D/3D 光斑形貌等參數(shù)。

此前，測(cè)量激光的精細(xì)參數(shù)，需要光學(xué)工程師在現(xiàn)場(chǎng)搭建焦斑測(cè)量的光路，造成大量的停機(jī)時(shí)間，影響生產(chǎn)效率；先鋒科技密切關(guān)心客戶(hù)的需求，基于長(zhǎng)時(shí)間服務(wù)于激光光束品質(zhì)的經(jīng)驗(yàn)，開(kāi)發(fā)出整體式焦斑測(cè)量?jī)x。該儀器體積小、光路靈活、分辨率高、測(cè)量結(jié)果準(zhǔn)確，只需要簡(jiǎn)單的擺放對(duì)準(zhǔn)調(diào)節(jié)即可秒出結(jié)果，既可以圖形化直觀顯示焦斑是否正常，也可以獲取強(qiáng)度分布數(shù)據(jù)，一經(jīng)推出即引起強(qiáng)烈的市場(chǎng)反響，并于近期獲得激光行業(yè)-榮格技術(shù)創(chuàng)新獎(jiǎng)。

該精密激光焦點(diǎn)分析儀測(cè)量精度可達(dá)1um以下, 簡(jiǎn)化、加速了對(duì)激光微加工系統(tǒng)焦點(diǎn)光斑進(jìn)行測(cè)量分析的過(guò)程，增強(qiáng)測(cè)試結(jié)果的可靠性，提升產(chǎn)線生產(chǎn)效率并確保生產(chǎn)制程的穩(wěn)定性，是紫外/超快激光微加工應(yīng)用中的得力工具，可廣泛用于激光精細(xì)切割和焊接，超快激光聚焦分析、面板和半導(dǎo)體加工、生物醫(yī)學(xué)顯微測(cè)試方向。

主要特點(diǎn)：

A．一維\二維\三維形象顯示激光的光強(qiáng)分布輪廓,明確生動(dòng)看出激光光束質(zhì)量的好壞;

B．可測(cè)焦點(diǎn)光斑直徑、峰值中心、中心點(diǎn)能量密度強(qiáng)弱和位置、光斑橢圓度、高斯匹配度等;

C．實(shí)時(shí)觀測(cè)光斑峰值中心位置的變化,測(cè)量激光點(diǎn)穩(wěn)定性，了解光斑的變化情況;

D．噪聲逐點(diǎn)扣除功能，保證了測(cè)量激光的各參數(shù)的準(zhǔn)確性；

E. 可配合不同類(lèi)型大功率近場(chǎng)成像鏡頭，小可以測(cè)量光斑大小：1um；

F. 一體化緊湊設(shè)計(jì)，方便集成于系統(tǒng)，支持二次開(kāi)發(fā)；

G. 確定激光加工焦點(diǎn)位置，提升激光加工性能；

先鋒科技是專(zhuān)業(yè)從事光電相關(guān)領(lǐng)域內(nèi)與科研、生產(chǎn)等環(huán)節(jié)密切相關(guān)的儀器系統(tǒng)集成業(yè)務(wù)的綜合服務(wù)商，業(yè)務(wù)范圍涵蓋各著名高等院校和大型生產(chǎn)型企業(yè)。目前技術(shù)深度融合，我們將發(fā)揮自身技術(shù)優(yōu)勢(shì)，基于已有的光譜技術(shù)，精密位移技術(shù)，光檢測(cè)技術(shù)，與高等院校研究單位密切合作，逐步完善已有的光譜類(lèi)，激光檢測(cè)類(lèi)產(chǎn)品，開(kāi)創(chuàng)研發(fā)創(chuàng)新新篇章